沈国梁眼中闪过一丝赞许，伸手在仪器显示屏上轻点：“你们的校准流程很规范，连环境温湿度的补偿参数都考虑到了。

不过要注意，光刻机运行时会产生局部热量，可能影响工作台的稳定性，建议在周边加装恒温风道。”

楚千澜点头记下：“多谢沈院士提醒，我们后续会优化环境控制系统。”

一行人沿着光刻区缓缓前行，沈国梁时不时驻足询问设备参数，从光源功率到曝光时间，从晶圆台转速到光刻胶涂覆厚度，每个问题都极为细致。

走到离子注入机安装区域时，沈国梁看着正在拆解的设备零件，忽然问道：“这些零件是在做故障维修？我刚才好像看到有工程师在记录参数，是准备逆向研究？”

楚千澜坦然回应：“我们有两台离子注入机出现真空阀门故障，我们一边维修一边记录零件参数，后续计划基于这些数据，尝试将零件本土化，甚至逆向研发出设备。”

沈国梁拿起一个拆解下来的密封圈，对着灯光观察材质纹路：“这种氟橡胶密封圈的耐腐蚀性和密封性很关键，国内能生产同级别产品的厂家不多，你们若是有需要，我可以推荐几家研究所对接。”

楚千澜心中一喜：“那太好了！正愁找不到靠谱的国产供应商，有您的推荐，能少走不少弯路。”

沈国梁笑着摆手：“都是为了半导体国产化，互相帮衬是应该的。对了，你们基于星象指令集的芯片研发，什么时候能进入流片阶段？”

提到星象指令集，楚千澜语气多了几分谨慎：“EDA工具的核心模块还在研发，预计今年年中能完成全套工具链开发，同步研发的嵌入式芯片应该会晚一点时间！”

沈国梁眼中闪过期待：“首款180nm纯国产芯片，还真是让人期待啊！”

楚千澜轻笑一声，“我也很想知道，利用星象指令集设计出的芯片，功耗与性能如何。”

沈国梁略作沉吟，“你们可以先设计几款市面已有的通用芯片，我想办法给你拉些客户！”